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​日本爱发科ULVAC正式发布HELIOT 900系列氦质谱检漏仪上新

更新时间:2026-07-17      浏览次数:2

日本爱发科ULVAC正式发布HELIOT 900系列氦质谱检漏仪上新

日本爱发科ULVAC正式发布HELIOT 900系列氦质谱检漏仪上新



日本爱发科ULVAC正式发布HELIOT 900系列氦质谱检漏仪,以5L/sec高速排气与无线智能操控赋能气密性检测领域

全球真空技术综合解决方案供应商日本爱发科(ULVAC)今日正式面向中国市场推出HELIOT 900系列氦质谱检漏仪。爱发科于1967年开始发出氦气检漏仪“DLMS"系列,1995年推出实现全自动化测试的HELIOT 300系列。此后相继开发了通用机型HELIOT 700、更小更轻便的HELIOT 100、自动型氦质谱检漏设备专用的HELIOT ZERO等系列。作为HELIOT家族的全新一代产品,HELIOT 900系列在排气能力、操作便利性及场景适应性上实现了系统性提升,以ULTRA流量模式下5L/sec的氦气抽速、优于5×10⁻¹³Pa·m³/sec的最小可检漏率、无线平板控制器、启动时间小于2分钟等综合性能,成为面向半导体制造、真空设备、汽车零部件、食品药品包装及二次电池等众多领域气密性检测的可靠选择。

高速排气能力,精准捕捉微小漏点

HELIOT 900系列的核心技术突破在于其高速排气能力。在ULTRA流量模式下,对氦气的抽气速度可达5L/sec。这一性能的实际价值在于:能够迅速降低系统背压,缩短氦气背景下降时间,使设备在短时间内进入稳定检测状态。约30L容积的试验体抽至1×10⁻¹¹Pa·m³/sec所需时间,与以往机型相比缩短了5分钟以上。在真空装置泄漏试验中,连接HELIOT 900进行检测,相比原有机型能够检测到约1/5的泄漏。

设备支持三种流量模式自由切换——GROSS流量(最大连接压力1200Pa)、FINE流量(100Pa)和ULTRA流量(2Pa),从大泄漏到微小泄漏均可覆盖。测试端口对氦气的抽速在ULTRA模式下为5L/sec,FINE模式下为1L/sec。

超高灵敏度,覆盖宽泄漏范围

HELIOT 900系列的最小可检漏率(4He)优于5×10⁻¹³Pa·m³/sec。泄漏率显示范围覆盖4He的0.01×10⁻¹²~10⁻³Pa·m³/sec。除氦气外,设备还可检测氢气(2H2),在FINE模式下氢气泄漏率显示范围为0.01×10⁻⁸~10⁻⁵Pa·m³/sec。这一灵敏度水平可满足半导体封装、真空装置、二次电池漏液测试等对气密性要求严苛的场景。

在分析管技术方面,HELIOT 900通过加大复合分子泵气体导入口的排气速度和测试阀门的传导率,实现了5L/sec(ULTRA流量)的排气速度,同时通过提升微小电流检测能力,实现了高灵敏度的检测。压力监视用的皮拉尼真空计采用新开发的“SPU",通过数字通信向主板发送压力信号。W1型的前级泵采用磁铁联轴器结构,使用了轴封无漏油、长寿命的爱发科机工制造的GHD-031。

智能操控,无线平板控制器

HELIOT 900系列搭载独立于主机的7英寸触摸屏平板电脑控制器。标准配备无线遥控功能(IEEE 802.11 b/g/n),有效操作距离达40米。操作人员可根据实际场景灵活调整操作位置,无需固守于设备主机旁。平板电脑电池续航时间可达3~5小时。设备支持8种语言选择:简体中文、繁体中文、日语、英语、韩语、德语、西班牙语、俄罗斯语。

检测界面设计简洁直观,高清晰度屏幕和出色的可视性使操作人员即使初次使用也能快速上手。设备还提供有线操作规格(电缆长度标准2米,可选5米),平板控制器具有无线通信开关功能。

丰富的泵体阵容与灵活选型

HELIOT 900系列提供五种型号供用户选择:

型号本体类型粗抽泵类型粗抽泵抽速(50/60Hz)重量
901W1便携式油回转泵30/36 L/min约33kg
901D2便携式涡旋干泵90/108 L/min约37kg
904W2移动式油回转泵135/162 L/min约79kg
904D3移动式涡旋干泵250/300 L/min约74kg
904D4移动式涡旋干泵500/600 L/min约96kg

数据来源:爱发科产品规格表

本次新追加的D4型配备排气速度为500L/min的涡旋型干泵,面向半导体制造设备和FPD制造设备。W2、D3、D4型标准配有便于移动的小车。用户可根据不同的检测需求与环境条件灵活选择油回转泵或涡旋干泵配置。

使用吸枪法时,可以通过连接可选的吸枪单元,真空法和吸枪法为可分开使用的二合一结构。

易维护设计与快速启动

HELIOT 900系列在维护便利性上进行了针对性优化。设备采用免工具拆卸维护面板设计,可轻松接触到每个内部部件。系统搭载图像式保养操作指导画面,操作人员即使缺乏专业维护经验也能按照指引完成基础保养工作。

设备的启动时间(包括校准操作)在5分钟以下,不执行校准时在2分钟以下。相比传统检漏仪较长的预热和准备周期,大幅减少了等待时间,提升了检测效率。

排气管线从原来的位置改为在校准泄漏阀门和校准泄漏之间,从而抑制了连续运行时背压的上升。D4款配备了粗抽阀,可进一步缩短试验体内的排气时间。

丰富的输入输出接口

HELIOT 900系列配备RS232C、RS485、模拟DC输出、数字I/O等丰富的输入输出接口。测试端口形状为NW25(ISO)标准接口。设备支持CE、IP30等适用规格。输入电压支持单相100-120V或200-240V。

典型应用场景

HELIOT 900系列广泛应用于工业制造与质量管控领域:用于管道和零部件的气密性检测;用于真空设备的气密性检查;用于汽车配件、空调配件、换热器配件的产品检验;用于食品和药品包装的密封检查;用于氦气、氢气的流量及透过量测量;用于二次电池(锂电池等)的漏液测试和服务器冷却组件的泄漏检测。

HLD的应用市场已从真空、汽车、制冷和核电行业扩展到食品和医疗包装行业,检测的产品和使用方法也变得更加多样化。爱发科认为“检漏仪的销售"即“检漏方案的销售",致力于提供更有效的检漏方案。

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