日本爱发科ULVAC正式发布CCMT-D系列陶瓷电容压力计上新

日本爱发科ULVAC正式发布CCMT-D系列陶瓷电容压力计上新

日本爱发科ULVAC正式发布CCMT-D系列陶瓷电容压力计上新

日本爱发科ULVAC正式发布CCMT-D系列陶瓷电容压力计，以高精度气体非依赖测量赋能半导体与真空工艺领域

全球真空技术综合解决方案供应商日本爱发科（ULVAC）今日正式面向中国市场推出CCMT-D系列陶瓷电容压力计。该系列产品依托陶瓷一体构造传感器与静电容变化检测两大核心技术，以0.003%满量程分辨率、±0.2%测量精度、30ms响应速度、不受气体种类影响的绝对压力测量等综合性能，成为面向半导体薄膜沉积、真空熔炼热处理、光伏与平板显示制造及真空排气系统等对压力测量精度有严格要求的应用场景的可靠选择。

陶瓷一体构造：从原理层面保障测量精度与长期稳定性

CCMT-D系列的核心技术建立在电容压力计的机械现象原理之上。真空计内部被隔膜分为参比室和测量室，当气体压力变化时，由陶瓷（氧化铝）制成的阻挡膜发生弹性变形。这一变形被读取为静电容量的变化，从而换算出精确的压力数值。

传感器部采用陶瓷一体构造设计，相比传统金属隔膜结构，陶瓷一体构造的实际价值体现在多个维度：优异的再现性和长期信号稳定性，确保测量值在长时间使用后仍保持一致；耐腐蚀性优异，可耐受腐蚀性工艺气体对传感器部的化学侵蚀；抗污染设计，新采用的结构可有效保护传感器免受粉尘污染。

不受气体种类影响的全压力测量

CCMT-D系列的核心优势在于其不依赖气体种类的全压力测量能力。与皮拉尼真空计或电离真空计等依赖于气体热传导或电离特性的测量方式不同，电容压力计直接测量气体压力引起的隔膜机械变形，因此测量值与气体种类无关。这一特性在以下场景中尤为重要：

• 工艺气体成分变化时无需重新校准或修正读数

• 可测量绝对压力，不受环境大气压变化影响

• 在低真空和中真空区域均可实现高精度测量

四款量程覆盖，适配多元压力测量需求

CCMT-D系列提供四种满量程规格：

从大气压附近的133kPa到低真空区域的133Pa，CCMT-D系列通过不同量程型号的搭配，可覆盖从粗真空到中真空的宽广压力测量区间。满量程分辨率达0.003%，测量精度为±0.2%±温度系数（相对于显示值）。

内置温度补偿与快速响应

CCMT-D系列在温度管理和响应速度方面同样表现出色。产品内置温度补偿电路，零电压温度系数为0.015%满量程/℃，跨度电压温度系数为0.01%读数/℃，在10～50℃的工作温度范围内可保持稳定的测量精度。响应速度达30ms或以下，可实时跟踪工艺过程中的压力变化。

便捷的零点调整与标准化接口

CCMT-D系列支持按钮式零点调整，用户可在现场便捷地完成零点校准。产品提供直流0～10V满量程线性输出，输入功率仅DC14～30V，1W。气体接触材料包括Al₂O₃（氧化铝陶瓷）、Vacon70、SUS316等耐腐蚀材质，电气连接器为D-sub 15针公头。外形尺寸为直径55mm×117mm，重量仅329g。

典型应用场景

CCMT-D系列广泛应用于半导体与真空工艺领域：在薄膜沉积系统中用于工艺腔室的压力监测与控制；在真空熔炼和真空热处理炉等真空排气系统中作为压力监测器；在光伏（PV）和FPD制造设备中用于工艺压力监控；在减压炉及气体交换与气密封装等工艺中提供精确的压力数据。

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