日本爱发科ULVAC正式发布CR30B空冷式干泵上新

日本爱发科ULVAC正式发布CR30B空冷式干泵上新

日本爱发科ULVAC正式发布CR30B空冷式干泵上新

日本爱发科ULVAC正式发布CR30B空冷式干泵，以无油洁净与空冷便利赋能精密制造领域

全球真空技术综合解决方案供应商日本爱发科（ULVAC）今日正式面向中国市场推出CR30B空冷式干式真空泵。作为CR系列空冷式干泵的中等抽速代表机型，CR30B以无油洁净、空气冷却、低振动低噪音的综合性能，成为面向半导体制造、真空镀膜、科研实验及电子器件生产等对清洁度有严格要求场景的理想真空源。

无油洁净，杜绝碳氢化合物污染

CR30B属于干式真空泵中的多级爪式或罗茨+爪式复合结构。其转子在腔内高速旋转但不相互接触，腔体内不使用任何润滑油或密封液。被抽气体在输送过程中不会接触油类物质，从进气口到排气口全程保持无碳氢化合物污染状态。这一特性对于半导体刻蚀、真空镀膜、电子束焊接等对油蒸气极其敏感的工艺尤为重要，同时也避免了油雾排放对工作环境的污染。

空气冷却，无需水冷管路

相比许多需要循环水冷却的同类干泵，CR30B的核心实用优势在于采用空气冷却方式。泵体上集成高效冷却风扇，运行时通过强制风冷带走压缩热量。用户可省去水冷管路的初装成本，无需担心水质、水压、水温变化或冬季防冻等问题。设备布置更加灵活，特别适合缺乏冷却水供应条件的实验室、中试车间或老旧厂房改造项目。

低振动、低噪音运行

得益于精密的动平衡设计和优化的气路结构，CR30B在工作时振动极小，噪音水平远低于同等抽速的油封机械泵。它可以直接安装在洁净室、实验台旁或开放式生产区域，无需隔音罩或单独泵房。对于需要长时间运行（如真空干燥、连续镀膜）的用户而言，低噪音特性显著改善了工作环境舒适度。

结构紧凑，易于集成

CR30B采用一体化紧凑设计，整体尺寸较小，重量适中。泵体上预留标准的进气口、排气口及安装底脚，既可以作为独立设备落地或台面放置，也可以轻松集成到真空镀膜机、手套箱、真空烘箱等主机设备内部。简洁的电气接口降低了系统集成的复杂度。

良好的耐水蒸气和粉尘能力

相比油封泵（水蒸气易使油乳化变质），CR30B的干式结构对水蒸气和少量粉尘具有更好的耐受性。泵体在运行时的温升有助于将水蒸气以气态形式排出，避免在泵内冷凝。针对可能产生微量粉尘的工艺（如真空干燥粉末、等离子清洗等），CR30B的转子间隙设计能够允许小颗粒通过而不易卡死，从而延长维护周期。

典型应用场景

CR30B广泛应用于半导体与电子器件制造领域：用于晶圆涂胶/显影设备中的真空吸附基板；作为小型刻蚀机、CVD设备的前级泵，配合分子泵获得高真空。在真空镀膜与表面处理领域，CR30B为光学镀膜、装饰镀膜等工艺提供无油洁净的真空环境。在科研与实验室领域，适用于真空干燥、手套箱、材料研究等对洁净度有要求的实验场景。

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