日本爱发科ULVAC正式发布GR90A多级罗茨型干式真空泵上新

日本爱发科ULVAC正式发布GR90A多级罗茨型干式真空泵上新

日本爱发科ULVAC正式发布GR90A多级罗茨型干式真空泵上新

日本爱发科ULVAC正式发布GR90A多级罗茨型干式真空泵，以高负荷连续运行能力赋能半导体与一般工业领域

全球真空技术综合解决方案供应商日本爱发科（ULVAC）今日正式面向中国市场推出GR90A多级罗茨型干式真空泵。作为GR系列中的中等抽速代表机型，GR90A基于爱发科在LR/HR系列中积累的技术经验设计而成，以112m³/h抽速、可在大气压下持续运行、适用于反复抽气高负荷工况的综合性能，成为面向半导体Load Lock腔室、真空干燥、气体置换及一般工业真空应用的可靠选择。

高负荷持续运行能力，适配反复抽气场景

GR90A的核心价值在于其高负荷持续运行能力。该泵特别适用于在大气压与真空之间反复抽气的场景，以及高压范围内的连续运行。在半导体PVD（溅射/蒸镀）等工艺中，装载/卸载室（Load Lock）需要频繁开关腔室、反复从大气压抽至真空，对真空泵的耐用性和稳定性提出了较高要求。GR90A在此类工况下可保持稳定的排气性能，有效缩短腔室排气时间，提升产线吞吐量。

强劲抽速与稳定真空度

GR90A在50Hz电源条件下的最大排气速度达112m³/h（约1860L/min） ，60Hz条件下达126m³/h（约2100L/min） 。极限压力可达5.0Pa。泵的最大吸气压力为大气压，最大排气压力范围为1.0Pa至大气压。这一特性意味着GR90A可在大气压下直接启动并连续运行，无需前级泵预抽即可开始工作，简化了系统配置和操作流程。配合其高负荷持续运行能力，GR90A在需要频繁从大气压开始抽空的工艺中具有显著优势。

结构简洁，面向一般工业设计

GR系列以获得市场验证的LR/HR系列技术经验为基础，面向一般产业设计了更为简洁的泵体结构。这一设计的实际价值在于：结构简化带来了更具竞争力的价格，同时部件数量减少使潜在故障点相应减少，简洁的结构也使日常维护和检修更加方便。GR90A吸气口采用VG80或ISO80F规格，排气口采用NW40规格，标准化的接口设计便于与现有真空管路系统快速对接。

水冷散热与N2吹扫系统

GR90A采用水冷方式散热。冷却水供给压力范围为0.1～0.3MPa，出入口压差需大于0.1MPa，冷却水温度范围为10～30℃，冷却水流量需大于5.0L/min。水冷设计可在高负荷连续运行条件下有效控制泵体温度，保障设备的长期稳定性和可靠性。

GR90A配备轴封N2吹扫系统，流量为5.0SLM。N2吹扫可有效防止工艺气体侵入轴承和齿轮区域，延长关键部件的使用寿命。极限压力是在氮气（轴封气体）为5.0SLM时的测定数值。

可选防爆电机与多电压适配

GR90A搭载通用感应电机，防爆电机可作为选配件安装，适用于对防爆有特殊要求的工艺环境。电机方面，用户可选择200V等级电机或多电压电机，下单时需注明所需电压。多电压电机可适配不同国家和地区的电网标准，电压覆盖200V/208V/220V/240V/380V/400V/415V/440V/460V等多种规格。

DRP表面处理标准选项

GR90A提供DRP表面处理作为标准选项。经过表面处理的部件具有更高的耐腐蚀性和耐磨性，适用于处理含有轻微腐蚀性成分的工艺气体，有效延长了泵在复杂工艺环境中的使用寿命。

典型应用场景

GR90A广泛应用于半导体及一般工业领域：用于各种沉积设备的装卸锁腔（Load Lock）排气，在反复抽气的高负荷工况下表现稳定；用于真空干燥设备的排气系统，处理洁净气体如空气、惰性气体等；用于真空隔热中的气体交换与充气、真空脱泡等一般工业应用；适用于洁净气体的真空抽取，如空气、惰性气体等。

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