日本爱发科ULVAC VD90C单级油旋片真空泵技术介绍

日本爱发科ULVAC VD90C单级油旋片真空泵技术介绍

日本爱发科ULVAC VD90C单级油旋片真空泵技术介绍

日本爱发科ULVAC VD90C单级油旋片真空泵技术介绍：强制供油润滑原理与大容量工业真空应用

在真空镀膜、真空热处理、真空干燥及工业制造等大规模真空系统中，真空泵不仅需要提供足够高的抽速以满足快速抽空的要求，还需在长时间连续运行中保持稳定的排气性能，特别是在大气压附近和反复抽气的高负荷工况下。爱发科（ULVAC）VD-C系列单级油旋片式真空泵正是针对这一需求而开发，其中VD90C作为该系列的大抽速代表型号，依托单级大容积旋片压缩与强制供油润滑两大核心技术，以90m³/h抽速、0.67Pa极限压力、强制供油保持大气压附近稳定抽速、IE3多电压电机等特性，成为面向大容量工业真空系统的可靠选择。

一、工作原理：单级大容积旋片离心压缩与强制供油润滑

VD90C的核心工作原理建立在单级旋片离心压缩与油膜密封以及强制供油润滑系统两大技术之上。

单级大容积旋片离心压缩

VD90C是一种单级油旋片式容积真空泵——通过旋片在泵腔内的旋转运动，周期性地改变封闭腔体的容积，实现气体的吸入、压缩与排出。电机驱动转子在泵腔内偏心安装并高速旋转，旋片在离心力作用下紧贴泵腔内壁滑动，将泵腔分隔成多个可变容积的工作室。随着转子转动，工作室容积周期性变化——扩张时通过吸气口吸入气体，收缩时压缩气体并通过排气阀排出泵外。

单级排气系统的设计使VD90C在相同电机功率下可获得更大的抽气速率，适合需要快速建立真空的大容量工业场景。

强制供油润滑系统

VD90C采用强制供油（强制润滑）方式。与依赖压差润滑的简单泵型不同，强制供油系统通过油泵主动将润滑油输送至各运动部件，确保在各种工作压力下均有稳定、充足的油量供应。

这一设计的核心价值在于：即使在大气压附近，排气速度也是稳定的。传统油旋片泵在大气压附近运行时，由于压差不足导致润滑不充分，抽速会显著下降。VD90C的强制供油系统解决了这一问题，使其非常适合在大气和真空之间反复连续运行。

二、核心技术特点

1. 90m³/h高抽速，适配大容量真空系统

VD90C在50Hz电源条件下的设计排气速度达90m³/h（1500L/min） 。这一抽速区间适用于光学镀膜、真空热处理、真空干燥及大规模工业真空系统等场景，可在较短时间内完成大容积腔体的抽空，显著缩短工艺准备时间，提升产线吞吐量。

2. 0.67Pa极限真空度

VD90C的到达压力（极限压力）为0.67Pa。这一性能指标可满足真空镀膜、真空热处理、真空干燥等多数工业中低真空工艺对真空度的要求。

3. 强制供油系统，确保大气压附近稳定抽速

VD90C的核心技术特征在于其强制供油润滑系统。这一设计确保泵在各种工作压力下均有稳定、充足的油量供应，特别是在大气压附近，传统油泵因压差不足导致抽速下降的问题在VD90C上得到有效解决。这一特性使其非常适用于需要在大气和真空之间反复切换的工艺场景，如Load Lock腔室排气、真空干燥等。

4. IE3高效率多电压电机

VD90C搭载爱发科原装高效率（IE3）多电压电机。单一电机即可处理200～240V / 380～460V的宽电压范围。这一设计使VD90C可适配全球不同国家和地区的电网标准，无需更换电机即可在不同电压下运行。

5. 低振动、低噪音、高可靠性

VD90C通过优化的结构设计实现了低振动、低噪音运行。优化的设计实现了安静平稳运行，可直接部署于对噪音和振动敏感的生产环境，无需复杂的隔音设施。

6. 良好的维护性

VD90C具有良好的维护性，属于旋转翼型泵。泵体设计便于日常检查和部件更换，降低了长期运维的复杂度。

7. 连续运行限制参数

根据爱发科规格，VD90C在进气口压力1000Pa或以上时不允许连续运行。在连续运行条件下，最大水蒸气允许压力为1000Pa，最大水蒸气容量为600g/h。用户在实际使用中需注意进气口压力控制，避免超出运行限制范围。

三、性能参数一览（VD-C系列对比）

数据来源：爱发科产品规格表

四、典型应用场景

真空镀膜：用于光学镀膜、装饰镀膜等真空镀膜设备的真空排气。VD90C的90m³/h高抽速可快速建立镀膜所需的真空环境，提升产线节拍。

真空热处理：用于真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉等热处理设备的真空系统。强制供油系统确保在高负荷工况下排气性能的稳定。

真空干燥与冷冻干燥：用于真空干燥系统，在反复抽气的高负荷工况下表现稳定。

半导体与电子制造：适配半导体制造设备、电子元件生产线的真空系统。

真空脱泡与真空绝热：用于真空脱泡、真空绝热等工艺。

真空包装与真空吸附：用于真空包装、真空吸附与输送等工业场景。

五、总结

VD90C是爱发科在单级大抽速油旋片真空泵领域的一款代表性产品。通过单级大容积旋片离心压缩机制与强制供油润滑系统的配合，在实现90m³/h（50Hz）抽速和0.67Pa极限压力的同时，确保了在大气压附近工况下抽速的稳定性。其IE3高效率多电压电机、低振动低噪音运行等特性，使其成为真空镀膜、热处理、干燥及半导体制造等大容量工业真空系统中兼具效率与可靠性的选择。

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