日本爱发科ULVAC正式发布NRL180A干式真空泵介绍

日本爱发科ULVAC正式发布NRL180A干式真空泵介绍

日本爱发科ULVAC正式发布NRL180A干式真空泵介绍

日本爱发科ULVAC正式发布NRL180A干式真空泵介绍，以低温均热化技术赋能PVD与Load Lock工艺领域

全球真空技术综合解决方案供应商日本爱发科（ULVAC）今日正式面向中国市场推出NRL180A干式真空泵。作为NRL系列中的代表型号，NRL180A依托多级罗茨无油容积式压缩与低温区域均热化两大核心技术，以183m³/h抽速、适合低温泵体运行、专为PVD和Load Lock工艺优化等综合性能，成为面向物理气相沉积、负载锁定腔室及需要高流量、短排气时间的重要工艺腔体的可靠选择。

一、工作原理：多级罗茨无油容积式压缩与低温均热化

NRL180A的核心工作原理建立在多级罗茨无油容积式压缩与低温区域均热化两大技术之上。

多级罗茨无油容积式压缩

NRL180A本质上是一种多级罗茨型干式真空泵——通过多组8字形转子在泵腔内同步反向旋转，周期性地改变转子与泵壳之间形成的封闭腔体容积，实现气体的吸入、压缩与排出。转子之间以及转子与泵壳之间始终保持微小间隙，彼此不接触。由于转子室内不使用润滑油，因此能够实现油蒸气污染少的真空排气。

低温区域均热化

NRL系列的核心技术特征在于低温领域下的均热化。爱发科利用干式真空泵体内部产生的热量，通过独特的泵体设计使热量在泵体内部均匀分布。NRL系列适用于泵体低温运行的工艺场景，尤其适用于PVD工艺和Load Lock腔室等对温度控制有特定要求的应用。通过低温均热化设计，NRL180A在保持稳定排气性能的同时，有效控制了泵体温度，避免了对工艺环境的过热影响。

二、核心技术特点

1. 183m³/h抽速，适配高流量工艺

NRL180A在50Hz电源条件下的最大排气速度达183m³/h（约3100L/min） 。这一抽速水平使其尤其适用于希望提高流量、缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。在PVD工艺和Load Lock腔室等需要快速建立真空的场景中，NRL180A可在较短时间内完成腔体抽空，显著提升产线吞吐量。

2. 专为PVD和Load Lock工艺优化

NRL系列泵适用于负载锁定或PVD工艺。在PVD（物理气相沉积）工艺中，NRL180A的低温均热化设计确保了泵体在低温区域的稳定运行，避免了对沉积工艺的温度干扰。在Load Lock腔室（装载/卸载室）应用中，该泵的快速抽气能力可有效缩短腔室排气时间，提升设备综合效率。

3. 无油洁净运行

NRL180A的排气室内不使用真空油，转子和气缸为非接触运转，可长时间稳定运行。气体接触区域不接触任何油类介质，从根源上杜绝了油蒸气和油雾的产生与返流。这一特性使其可应用于对洁净度有严格要求的PVD、溅射、蒸镀等工艺场景。

4. DRP表面处理

NRL180A的转子叶片采用DRP表面处理。经过表面处理的部件具有更高的表面硬度和耐腐蚀性，适用于处理含有轻微腐蚀性成分的工艺气体，有效延长了泵在复杂工艺环境中的使用寿命。

5. 多电压适配

NRL180A搭载多电压电机，可适配不同国家和地区的电网标准。宽电压设计使设备在全球范围内均可灵活部署，无需更换电机即可在不同电压下运行。

6. GR系列技术平台

NRL180A与GR系列共享技术平台。GR系列是以获得良好业绩和信赖的LR/HR系列为基础设计的。NRL180A继承了这一成熟技术平台的优势，在可靠性和稳定性方面经过了充分验证。

三、性能参数一览

数据来源：爱发科产品规格表

四、典型应用场景

PVD物理气相沉积：在溅射、蒸镀等PVD工艺中，NRL180A的低温均热化设计确保了泵体在低温区域的稳定运行，避免了对沉积工艺的温度干扰。

Load Lock腔室：用于装载/卸载室的快速真空排气。NRL180A的高抽速可在较短时间内完成腔体抽空，提升产线吞吐量。

真空镀膜：用于光学镀膜、装饰镀膜等真空镀膜设备的排气系统。无油洁净特性可避免油污染对膜层质量的影响。

半导体制造：适配半导体制造过程中的各类真空工艺，尤其适用于需要高流量、短排气时间的工艺腔体。

一般工业真空：适用于各类需要洁净真空环境的工业应用场景。

五、总结

NRL180A是爱发科在低温均热化多级罗茨干式真空泵领域的一款代表性产品。通过多级罗茨无油容积式压缩机制与低温区域均热化技术的配合，在实现183m³/h（50Hz）抽速的同时，专为PVD和Load Lock工艺优化了泵体运行温度。其无油洁净运行、DRP表面处理、多电压适配等特性，使其成为PVD物理气相沉积、Load Lock腔室及需要高流量短排气时间的工艺场景中可靠的真空获取方案。

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