京都玉崎分享测量显微镜原理

京都玉崎分享测量显微镜原理

测量显微镜可按照明方式分类。

1. 透照法

透射照明是一种透射照明，它允许光线穿过以捕捉物体的轮廓并测量其尺寸。用于测量轮廓。

2.垂直反射照明

垂直反射光将光垂直照射到物体表面，并利用反射光观察表面。垂直反射照明不仅可以测量尺寸，还可以观察表面形状。

3.斜反射照明

斜反射照明是一种将光线倾斜地照射到被测物体表面的照明方法。其特点是强调图像的对比度，因此可以获得三维且清晰的图像。然而，测量尺寸时可能会出现错误。

测量显微镜用于相对较小的机械零件、电子设备零件和半导体产品的生产和质量控制。该测量装置适用于测量小零件和不使用显微镜放大难以测量的详细零件。

除了测量尺寸外，它还可以用于使用偏振光和微分干涉进行观察，例如检测半导体基板上的划痕。由于放大倍数的准确性，通过使用模板进行比较测量来确定产品是否在公差范围内，对于简单的检查也很有用。

测量显微镜既可以用作测量装置，也可以用作显微镜，并且一台装置可以用于多种用途。