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计测热销EBARA荏原高速排气用ESA25-D干式真空泵 EBARA荏原高速排气用ESA25-D干式真空泵产品介绍 ESA型有适合排出氢气等轻质气体的排量1,400L/min～10,000L/min的型号，以及适合排气的20,000L/min～80,000L/min的排量型号。适合大型腔体的高速排气。 10,000L/min 或更低型号适用于轻质气体排气，设计紧凑，并提供耐腐蚀材料选项，非常适合 MO-CVD 等高流量轻质气体排气应用。

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2025-06-07

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ESA15-D计测*EBARA荏原高速排气用干式真空泵计测*EBARA荏原高速排气用干式真空泵产品介绍 ESA型有适合排出氢气等轻质气体的排量1,400L/min～10,000L/min的型号，以及适合排气的20,000L/min～80,000L/min的排量型号。适合大型腔体的高速排气。 10,000L/min 或更低型号适用于轻质气体排气，设计紧凑，并提供耐腐蚀材料选项，非常适合 MO-CVD 等高流量轻质气体排气应用。大型机型在大排量的情

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2025-06-07

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计测*EBARA荏原高负载工艺用干式EV-M802N真空泵 EBARA荏原高负载工艺用干式EV-M802N真空泵产品介绍 EBARA 高温技术支持在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。由于其高节能性能，能够支持高负载流程，同时节省能源。另有排量110,000L/min的大排量型号，标配耐腐蚀材料。凭借针对工艺条件量身定制的丰富产品阵容，我们可以应对各种高负载工艺。

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2025-06-07

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计测*EBARA荏原高负载工艺用EV-M505SF干式真空泵 EBARA荏原高负载工艺用EV-M505SF干式真空泵产品介绍 EBARA 高温技术支持在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。由于其高节能性能，能够支持高负载流程，同时节省能源。另有排量110,000L/min的大排量型号，标配耐腐蚀材料。凭借针对工艺条件量身定制的丰富产品阵容，我们可以应对各种高负载工艺。

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2025-06-07

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计测*EBARA荏原高负载工艺用干式真空泵EV-M302N EBARA荏原高负载工艺用干式真空泵EV-M302N 产品介绍 EBARA 高温技术支持在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。由于其高节能性能，能够支持高负载流程，同时节省能源。另有排量110,000L/min的大排量型号，标配耐腐蚀材料。凭借针对工艺条件量身定制的丰富产品阵容，我们可以应对各种高负载工艺。

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计测*EBARA荏原高负载工艺用干式泵EV-M202N EBARA荏原高负载工艺用干式泵EV-M202N 产品介绍 EBARA 高温技术支持在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。由于其高节能性能，能够支持高负载流程，同时节省能源。另有排量110,000L/min的大排量型号，标配耐腐蚀材料。凭借针对工艺条件量身定制的丰富产品阵容，我们可以应对各种高负载工艺。

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