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标题:计测*EBARA荏原高速排气用干式真空泵
产品概述
计测*EBARA荏原高速排气用干式真空泵
计测*EBARA荏原高速排气用干式真空泵
ESA型有适合排出氢气等轻质气体的排量1,400L/min~10,000L/min的型号,以及适合排气的20,000L/min~80,000L/min的排量型号。适合大型腔体的高速排气。 10,000L/min 或更低型号适用于轻质气体排气,设计紧凑,并提供耐腐蚀材料选项,非常适合 MO-CVD 等高流量轻质气体排气应用。大型机型在大排量的情况下仍能实现安静的噪音和低振动,并且还可以选择有机溶剂排气,使其成为液晶溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等的理想选择。
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