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更新时间:2026-08-26
浏览次数:9自准直仪(英文:autocollimator)是一种光学装置,利用光线的线性传播来测量被测物体的细微角位移。
它允许非接触式测量角度及其他参数,通常用于光学或机械系统中,以调整零件位置或测量畸变。
自准直仪不仅用于精确的角度测量,还用于检查和调整平行度、直线度、光轴和对准。
固定平面镜平台沿制导面滑动,直线性由平面镜的准星运动量转换为。
通过传输单束激光,可以测量同一轴上两个表面之间的平行性。 对于玻璃面板及类似设备,平行度通过测量前后表面反射光的角度差来衡量。
通过使用称为光学方形的五边棱镜弯曲光线,可以进行测量。
利用多面镜,我们测量旋转表和图表表的除法精度。
通过将反射器固定在弹性部件上并用自旋距仪观察,可以测量微小的变化。
如果光学轴对齐,比如天文望远镜,主镜的中心标记会多次在自准距仪的视场内重叠出现。
我们测量圆盘和晶圆的变形和波浪,以及多边形镜的精度。
自准直仪测量利用了激光光的直接性和透镜对焦原理。 首先,半导体激光器主要用作光源,将激光转换为并行光,并带有主透镜。 这些平行光通过次镜,在焦点处形成图像。
在这种情况下,反射光被半镜沿光路分散,到达光接收设备如CCD时形成图像。 如果物体安装时相对于照射激光光没有倾斜,反射光的映射将与入射光匹配。 另一方面,如果物体倾斜,图像会错位,这可以根据偏差程度判断错位的角度。
在自准直仪内部,内置了许多镜子,这些镜子与测量原理无直接关联。 如果自准直器的光学系统串联排列,则需要相应的光程器件尺寸。
大多数自动准直仪安装多面反光镜以减少设备尺寸。
通过使用自准直仪,可以确定可以在直线或平面上定义的几何公差。 自准直仪通过利用偏离光轴的镜子反射,测量镜子的倾斜度。
通过将镜面角度转换为位移并计算,可以测量每个测量点的不均匀度。 通过将起始位置设为零,并为每个测量点绘制位移,你可以确定直线性。
通过反复使用自准直仪确定另一条直线的直线性,可以将绘制的点从线条绘制到平面,从而实现平坦度测量。 通过设计如何放置自动准直仪并握持镜面,测量结果可以进一步调整倾斜和直角。 然而,用曲线或曲面定义的事物,如圆度或圆柱度,很难测量。
如果光源不在镜头焦点,自动准直仪会面临测量误差和观测图像焦距错位等问题。 光源位置的误差要求相对于准直镜焦距严格要求精度低于0.1%。
由于这种位置调整非常精确,自动准直器可以通过光圈来调整点直径,其他则使用刀刃,以及其他允许定位的方法进行调整。
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