日本爱发科ULVAC CR16B空冷式罗茨型干式真空泵技术介绍

日本爱发科ULVAC CR16B空冷式罗茨型干式真空泵技术介绍

日本爱发科ULVAC CR16B空冷式罗茨型干式真空泵技术介绍

日本爱发科ULVAC CR16B空冷式罗茨型干式真空泵技术介绍：多级罗茨无油压缩原理与洁净工业真空应用

在真空镀膜、真空干燥、气体置换及一般工业真空工艺中，设备对真空泵的核心诉求往往集中在无油洁净、稳定运行和较低的运行成本三个维度。传统的油旋片泵存在油蒸气污染风险，而水冷式干泵则对厂房基础设施有较高要求。爱发科（ULVAC）CR系列空冷式罗茨型干式真空泵正是针对这一需求而开发，其中CR16B作为该系列的小型代表型号，依托多级罗茨无油容积式压缩与空冷散热两大核心技术，以16m³/h抽速、无油洁净、无需冷却水等特性，成为面向洁净工业真空应用的可靠选择。

一、工作原理：多级罗茨转子无油容积式压缩

CR16B的核心工作原理建立在多级罗茨转子无油容积式压缩这一物理机制之上。它本质上是一种干式容积真空泵——通过多组8字形罗茨转子在泵腔内同步反向旋转，周期性地改变转子与泵壳之间形成的封闭腔体容积，实现气体的吸入、压缩与排出。

泵的核心运动部件由多组精密加工的三叶罗茨转子组成：

• 非接触式运转：多组罗茨转子在同步齿轮驱动下以相反方向高速旋转，转子之间以及转子与泵壳之间始终保持微米级的微小间隙，彼此不接触。由于转子室内不需要润滑油，因此能够实现油蒸气污染少的真空排气。

• 多级容积式压缩：气体由进气口吸入后，依次经过每一级罗茨转子的压缩。每一级转子将气体推入下一级，腔体容积沿输送方向逐级缩小，气体被逐步压缩至大气压以上，最终从排气口排出。多级结构的优势在于将压缩比合理分配至多个压缩阶段，使每一级均在高效区间工作。

• DC密封电机驱动：CR16B搭载DC密封电机，在实现节能、气密和减重的同时，消除了传统轴封的漏油风险。

• 空冷散热：CR16B采用空冷方式散热，无需配备冷却水循环系统和相关管路。这一设计大幅降低了安装成本和场地要求，使设备部署更加灵活。

二、核心技术特点

1. 无油洁净，适配洁净工艺

CR16B的排气室内不使用真空油，因转子和汽缸是非接触式的，可长时间稳定运转。气体接触区域不接触任何油类介质，从根源上杜绝了油蒸气和油雾的产生与返流。这一特性使其可应用于溅射、蒸镀等真空设备以及半导体、光学等对洁净度有要求的工艺场景。

2. 无需冷却水和氮气，降低运行成本

CR16B的核心优势在于无需冷却水和氮气。与需要水冷系统的大抽速干泵相比，CR16B的空冷设计免去了冷却水配管安装、水质管理等一系列工作，同时无需轴封氮气等辅助气体。这一特性不仅降低了初期安装成本，也大幅减少了日常运维支出。

3. 16m³/h抽速，适配中小型真空系统

CR16B的最大排气速度为16m³/h。这一抽速区间适用于中小型溅射设备、蒸镀设备、真空干燥箱及实验室真空系统等场景，可在较短时间内完成腔体抽空。

4. 极限压力满足工艺需求

CR16B的到达压力（极限压力）可达≤3.0Pa。这一压力水平可满足真空镀膜、真空干燥、气体置换等多数工业中低真空工艺对真空度的要求。

5. 气镇机构可选，应对可凝性蒸汽

CR16B可选配气镇机构（针阀或电磁阀+针阀）。在抽除含有水蒸气等可凝性气体的工况时，开启气镇可有效防止水蒸气在压缩过程中凝结，避免对泵内部件的腐蚀和性能衰减。使用气镇时的最大水蒸气处理量可达300g/h。

6. 符合国际安全标准

CR16B已获得CE、cTUVus国际标准认证，可在全球范围内合规部署。

7. 紧凑轻量设计

CR16B外形紧凑，质量仅为35kg。在同类产品中属于小型轻量级设计，可灵活安装于空间有限的设备和实验台架，无需复杂的基础固定。

三、性能参数一览

数据来源：爱发科产品规格表

四、典型应用场景

真空镀膜：用于溅射、蒸镀等真空镀膜设备的真空排气。CR16B的无油洁净特性可避免油污染对膜层质量的影响。

真空干燥：用于真空干燥箱等设备的排气，气镇机构可有效处理干燥过程中产生的水蒸气。

气体置换与真空脱泡：用于空气、惰性气体等洁净气体的真空排气和气体置换工艺。

分析仪器配套：作为质谱仪、电子显微镜等精密分析仪器的真空源。

科研与实验室：高校及科研院所的中小型真空实验装置配套。

半导体与电子制造：适配半导体封装、电子元件生产线的洁净真空系统。

五、总结

CR16B是爱发科在小型空冷式罗茨型干式真空泵领域的一款代表性产品。通过多级罗茨无油容积式压缩机制与空冷散热设计的配合，在实现16m³/h抽速和≤3.0Pa极限压力的同时，从根源上杜绝了油蒸气污染，且无需冷却水和氮气等辅助介质。其紧凑轻量、符合国际安全标准、可选气镇机构等特性，使其成为真空镀膜、真空干燥、气体置换及分析仪器等对洁净度和低运行成本有要求的工业真空场景中可靠的真空获取方案。

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