初识探针卡：核心基础要点

什么是探针卡？

探针卡是半导体制造过程中晶圆级检测所需的仪器。

它通过连接到晶圆检测设备来使用。 半导体的成本大部分是由制造设备决定的，但封装本身和封装的成本对制造阶段也有重大影响。 因此，可以在半导体制造过程之后在晶圆层面确定产品的质量，只将好的产品送到后续工序，这样可以降低成本。

晶圆检测是在单独切割和包装晶圆之前确定晶圆是好是坏的过程，这里需要探针卡。

探针卡的应用

晶圆检测由LSI测试仪组成，该测试仪输入芯片的电信号（称为测试模式），并将输出信号模式与预期值进行比较，晶圆探针进行芯片级定位控制，将信号精确连接到每个芯片的电气端子，以及定位相同数量的针（探针）以精确击中芯片中的数百~数万个电气端子。 它是用带有探针卡的探针卡进行的。

因此，需要为每种芯片设计专门创建探针卡，这成本高昂，并且由于使用造成的磨损而需要重新创建，但考虑到总体制造成本，这是不能少的的。 半导体芯片不仅在计算机中，而且在生活中的大多数产品中都有无数的应用，而探针卡就是其中的支撑之一。

探针卡原理

探针卡安装在晶圆探针上，充当连接器，通过晶圆探针将芯片的电气端子连接到LSI测试仪。

LSI测试头配有溢出接触针和高密度针进行连接，但电极的端子在半导体芯片上的放置间距较窄，几十微米，比测试头的引脚放置密度更细，因此需要通过探针卡将两者连接起来。

探针卡结构

探针卡的上侧与测试头相连，下侧设有用于连接半导体芯片电气端子的针头。

连接测试头与探针卡之间的连接端子，通过连接半导体芯片的电气端子和探针卡的针形成电气连接，通过LSI测试仪的电信号判断好坏，对硅片上的每个半导体芯片进行检测。

探针卡有高级型和悬臂型两种，高级型有一个带有垂直端子的块连接到板上，可以自由布置探头，易于维护。 悬臂式直接安装在电路板上，无需穿过块，便于容纳窄间距端子。

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